展會(huì)信息
基本信息
CHInano中國納博會(huì)?經(jīng)過九年的潛心耕耘,已成為中國規(guī)模最大、影響力最廣的納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)交流盛會(huì),是納米企業(yè)形象展示、產(chǎn)品推介、技術(shù)交流、市場拓展的最佳舞臺(tái)。CHInano 2018第九屆納博會(huì)組織了1場主報(bào)告和13場主題論壇,221個(gè)行業(yè)報(bào)告,邀請國內(nèi)外院士23人。設(shè)置了13000平方米展區(qū),吸引了國內(nèi)外7個(gè)展團(tuán)、25個(gè)國家、1000多家納米技術(shù)相關(guān)企業(yè)參展、參會(huì),展出1300多件納米技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品,大會(huì)期間參會(huì)參展人數(shù)規(guī)模超過14016人。
展品范圍
MEMS 加工設(shè)備薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍;曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù);防腐處理;刻蝕;晶圓鍵合;切割;芯片/導(dǎo)線焊接;封裝;微成形 (注射, 熱壓);其他生產(chǎn)設(shè)備
納米壓印技術(shù)
微納米模型;納米壓印生產(chǎn)設(shè)備
納米機(jī)械
微制程技術(shù)
超精度納米機(jī)械工藝;超精密加工, 微制造;表面微加工;精細(xì)鉆孔;微觀切割;雷射、離子脈沖加工;聚焦離子束系統(tǒng);微放電加工;超聲波設(shè)備等
分析與檢測儀器
光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng);顯微鏡:光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī);氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)
軟件建模
設(shè)計(jì)工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務(wù)
仿真設(shè)計(jì)、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn);其他代工服務(wù):圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護(hù)材料;碳納米管、藍(lán)寶石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材料、鐵電性材料
生物技術(shù)
與醫(yī)療應(yīng)用
MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊;尖端DNA & RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)等
MEMS 器件
光學(xué)MEMS (反射, 光量開關(guān), 掃描等);射頻MEMS (開關(guān),振蕩器,過濾);MEMS物理傳感器 (加速傳感器,速率傳感器,壓力傳感器,氣體傳感器,溫度傳感器);微射流(微流引導(dǎo),微感應(yīng)器等);MEMS執(zhí)行器(燈,泵);MEMS電能(燃料電池,微發(fā)電機(jī)等);生物/化學(xué)MEMS(DNA/RNA技術(shù),化學(xué)檢測等);高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應(yīng)用
產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等);超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等;傳感器網(wǎng)絡(luò);能量收集
主辦信息
指導(dǎo)單位:中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)
中國科學(xué)院
主辦單位:
中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
中國材料研究學(xué)會(huì)納米材料與器件分會(huì)
合作伙伴:
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)
中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
蘇州中科院產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與育成中心
承辦單位:
江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
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參展聯(lián)系手機(jī):13584824068
郵箱:wancd@sipac.gov.cn
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